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Industrie- und Reinstgase

Reinstgase, wie Chlor, Bortrichlorid, Arsine, Silane, Chlor- und Bromwasserstoff finden heute in der Halbleiterindustrie z. B. bei Gasphasenabscheidungen und Ätzprozessen genauso Anwendung wie bei der Herstellung von Lichtleitfasern.

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Zur Steigerung der Prozessausbeuten sowie durch Realisierung immer feinerer Strukturen durch lithographische Techniken werden immer höhere Anforderungen an die Reinheit der verwendeten Chemikalien und Gase gestellt.

Die Reinheit von Gasen ist für viele Industriezweige von Bedeutung, sei es in der Medizin, in der metallverarbeitenden, in der chemischen oder in der Nahrungsmittelindustrie. Wir untersuchen für Sie Korrosiv- und Inert-Gase, Hydride, Frigene und Fluoride sowie Gasgemische.

BAU_Reinstgas_188px   Unsere Serviceleistungen:   
  • Routineuntersuchung in Gasen und Gasgemischen bis in den vpm-Bereich
  • Metallische Verunreinigungen in Gasen und Gasversorgungseinrichtungen
  • Probenahme am Point - of - use
  • Bewertung von Analysenergebnissen
  • Unterstützung unserer Auftraggeber durch fachliche Stellungnahmen bei speziellen Fragestellungen, z. B. Off - Spec - Situationen
  • Entwicklung von Probenahme - Systemen und Ventilen
  • Applikations- und Methodenentwicklungen nach Kundenwünschen

Downloads:  
Infoblatt Determination of Component Concentrations in Gas Mixtures Englisch, PDF (612 kB) 
Infoblatt   Determination of Hydrocarbons, Sulfur Hexafluoride and Nitrous Oxide in Speciality Gases    Englisch, PDF (610 kB)
Infoblatt   Determination of Metallic Contaminations in Corrosive Gases    Englisch, PDF (611 kB)
Infoblatt   Determination of H 2 , Ar+O 2 , N 2, CH 4 , CO and
CO 2 in Speciality Gases  		 Englisch, PDF (615 kB)
Infoblatt   Determination of Moisture in Speciality Gases Englisch, PDF (607 kB)
Infoblatt   Determination of Reactive Fluorides, Ammonia and Nitrous Oxides in Speciality Gases    Englisch, PDF (610 kB)